Aller au contenu Aller au menu Aller à la recherche

accès rapides, services personnalisés
Rechercher
Institut de minéralogie, de physique des matériaux et de cosmochimie
UMR 7590 - UPMC/CNRS/IRD/MNHN

Préparation d'échantillon par faisceau d'ions focalisés (FIB)

© Carl Zeiss AG

Le  FIB Dual Beam, est l’association d’un Microscope Electronique à Balayage (MEB-FEG) et d’un Faisceau d’Ions Focalisé (FIB) et pourvu de différents dispositifs annexes. Cet équipement, extrêmement usité dans les technologies et l’industrie du semi-conducteur et de la micro-électronique, vient également s’inscrire dans la génération de moyens d’analyse nécessaires dans le domaine de la physique, la minéralogie, de la géo-microbiologie et des matériaux en général.

 

Cet outil offre ainsi la possibilité de sélectionner très précisément une région, permet le dépôt de couches (de métallisation ou de passivation) mais surtout la pulvérisation de matériaux à l’échelle submicronique avec la possibilité de visualiser les opérations en  simultané. En effet, le canon ionique émet un faisceau d’ions Ga+ d’énergie fixe (30 kV) et d’intensité variable (1 pA- 20 nA). S’ils sont suffisamment accélérés, les ions sont capables d’arracher les atomes de l’échantillon.  Le positionnement précis du faisceau d’ions rend alors possible la réalisation d’un motif ayant la forme désirée par pulvérisation alors que le faisceau d’électron permet d’imager l’abrasion et d’observer le motif, le dépôt ou la coupe en profondeur.

 

Le FIB permet ainsi :

  • la préparation d’échantillons pour la microscopie électronique en transmission et pour la spectro-microscopie X (STXM)
  • le micro-usinage d’échantillons technologique
  • l’analyse d’échantillons par tomographie 3D à l’échelle nanométrique.

L’appareil disponible sur la plateforme de l’IMPMC est le Zeiss Neon40EsB doté d’une source électronique type FEG-Schottky : canon à émission de champ et équipé de la colonne électronique UHR Gemini®, boostée pour l’amélioration des performances à basse tension, permettant l’analyse d’échantillons nanométriques. Il est équipé d’une source liquide d’ions Ga+ et d’une colonne ionique Orsay Physics Canion® permettant l’abrasion de tout type de matériaux à l’échelle nanométrique. Un système d’injection de gaz (GIS) Orsay Physics® ainsi qu’un micromanipulateur Kleindiek® viennent compléter l’équipement et permettent le prélèvement in-situ. Pour plus de détails techniques, veuillez consulter la fiche suivante.

Caractéristiques

Faisceau d’ions

  • Energie : 30kV (et basse tension 1 et 5 kV)
  • Résolution : 7 nm à 30 kV
  • Courant de sonde : 1 pA à 40 nA

Faisceau d’électrons

  • Energie : Tension variable en continu de 100 V à 30 kV
  • Résolution : 1,1 nm à 20 kV et 2,5 nm à 1 kV
  • Courant de sonde : 4 pA à 20 nA
  • Détecteurs :

Détecteur de type Everhart Thornley polarisable  pour l’imagerie en électrons secondaires et ions secondaires : SES

Détecteur 4 quadrants pour l’imagerie en électrons rétrodiffusés haute tension : AsB

Détecteur annulaire haute performance pour la détection des électrons secondaires basse tension : In-Lens (dans la colonne)

Détecteur annulaire avec grille filtrante en énergie pour la détection des électrons rétrodiffusés basse tension : EsB (dans la colonne)

Microanalyseur EDS Bruker QUANTAX Résolution 129eV sur Mn pour l’analyse élémentaire X avec logiciel Esprit, (cartographie X, profils, pointés)

  • Accessoires :

Micromanipulateur Kleindieck

Système d’injection de gaz  GIS (Pt, W, SiOx, Florine, water)

Flood gun

17/02/16

Traductions :

    Egalement dans la rubrique

    L’interaction répulsive entre paires de Cooper au cœur de la supraconductivité à haute température critique

    Trente ans après sa découverte en 1986 par Bednorz et Müller, la supraconductivité à haute température critique (HTc) demeure encore une énigme. Deux questions se posent afin de comprendre ce phénomène : quelle est l’origine physique des paires de Cooper et quel est le mécanisme de condensation ? C’est...

    » Lire la suite

    Contact

    Guillaume Fiquet (Guillaume.Fiquet @ impmc.upmc.fr)

    Directeur de l'institut

    33 +1 44 27 52 17

     

    Nalini Loret (Nalini.Loret @ impmc.upmc.fr)

    Attachée de direction

    33 +1 44 27 52 17

     

    Evancia Mahambou (evancia.mahambou @ upmc.fr)

    Gestion du personnel

    33 +1 44 27 74 99

     

    Danielle Raddas (cecile.duflot @ impmc.upmc.fr)

    Gestion financière

    33 +1 44 27 56 82

     

    Cécile Duflot (cecile.duflot @ impmc.upmc.fr)

    Chargée de communication

    33 +1 44 27 46 86

     

    Expertise de météorites

     

    Expertise de matériaux et minéraux

     

    Stages d'observation pour les 3e et les Seconde : feriel.skouri@impmc.upmc.fr (feriel.skouri @ impmc.upmc.fr)

     

    Adresse postale

    Institut de minéralogie, de physique des matériaux et de cosmochimie - UMR 7590

    Université Pierre et Marie Curie - 4, place Jussieu - BC 115 - 75252 Paris Cedex 5

     

    Adresse physique

    Institut de minéralogie, de physique des matériaux et de cosmochimie - UMR 7590

    Université Pierre et Marie Curie - 4, place Jussieu - Tour 23 - Barre 22-23, 4e étage - 75252 Paris Cedex 5

     

    Adresse de livraison

    Accès : 7 quai Saint Bernard - 75005 Paris, Tour 22.

    Contact : Antonella Intili : Barre 22-23, 4e étage, pièce 420, 33 +1 44 27 25 61

     

     

    Fax : 33 +1 44 27 51 52

    L'IMPMC en chiffres

    L'IMPMC compte environ 195 personnes dont :

     

    • 40 chercheurs CNRS
    • 46 enseignants-chercheurs
    • 19 ITA CNRS
    • 15 ITA non CNRS
    • 50 doctorants
    • 13 post-doctorants
    • 12 bénévoles

     

     Chiffres : janvier 2016